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真空電極（Feedthrough）法蘭的作用主要是在真空系統(tǒng)中實(shí)現(xiàn)電極與真空系統(tǒng)之間的密封連接。法蘭通常由兩個(gè)部分組成：法蘭本體和密封墊。法蘭本體是連接電極和真空系統(tǒng)的部分，而密封墊則用于在法蘭本體與電極之間提供一個(gè)密封界面，以確保真空環(huán)境的密封性。

在真空系統(tǒng)中，法蘭的密封作用非常重要，因?yàn)槿魏螝怏w泄漏都會導(dǎo)致系統(tǒng)的真空度下降。電極法蘭的質(zhì)量和密封性能決定了整個(gè)真空系統(tǒng)的性能和可靠性。因此，在設(shè)計(jì)和制造真空電極時(shí)，需要選擇高質(zhì)量、高真空兼容性的材料，并采用適當(dāng)?shù)墓に嚧胧﹣泶_保法蘭的密封性能。此外，需要進(jìn)行嚴(yán)格的泄漏測試和質(zhì)量控制來驗(yàn)證法蘭的密封性能。

SMA超高真空饋通

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