一、組合版Sub-D真空饋通：功率和標(biāo)準(zhǔn)插針組合

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組合版Sub-D真空饋通是把功率、同軸和標(biāo)準(zhǔn)插針融入到標(biāo)準(zhǔn)的Sub-D真空饋通中。其中功率插針，常用于加熱器的供電應(yīng)用。兼容CF法蘭、KF法蘭、ISO法蘭和完全定制型法蘭。

圖一：功率和標(biāo)準(zhǔn)插針組合真空饋通的技術(shù)指標(biāo)

功率和標(biāo)準(zhǔn)插針組合真空饋通，一共分為三類（圖二、圖三、圖四）：

      2P+5S

      3P

      5P

以及組合按倍數(shù)疊加（圖五）。其中P指功率型插針，S為標(biāo)準(zhǔn)插針。

圖二：2P+5S（即2針功率插針+5針標(biāo)準(zhǔn)插針）示例（圖示CF35法蘭）

圖三：3P（即3針功率插針）示例（圖示CF35法蘭）

圖四：5P（即5針功率插針）示例（圖示CF63法蘭）

圖五：3個2P+5S的并聯(lián)示例（圖示CF63法蘭）

二、組合版Sub-D真空饋通：同軸和標(biāo)準(zhǔn)插針組合

圖六：同軸和標(biāo)準(zhǔn)插針組合真空饋通的技術(shù)指標(biāo)

同軸和標(biāo)準(zhǔn)插針組合真空饋通，一共分為三類（圖七）：

    2C+3S

    3C

    5C

其中C指同軸型插針，S為標(biāo)準(zhǔn)插針。

圖七：（左）5C（5針同軸插針，CF63法蘭）；（右上）2C+3S（2針同軸插針+3針標(biāo)準(zhǔn)插針，CF35法蘭）；（右下）3C（3針同軸插針，CF35法蘭）

三、組合版Sub-D真空饋通真空內(nèi)外接頭和插針

組合版Sub-D真空饋通（功率型，同軸型）采用同樣的高真空和超高真空接頭，一共分為三種：

- 2 * Coax or Power pins + 5 * 1mm pins

- 3 * Coax or Power pins

- 5 * Coax or Power pins

圖八：真空端母頭和配套插針

圖九：真空端公頭和配套插針

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