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常用CF法蘭的型號和尺寸介紹

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CF法蘭,全稱Conflat Flange,是一種可拆卸的,能承受高溫烘烤的金屬靜密封法蘭,通常用于高真空和超高真空設(shè)備。

常用CF法蘭的型號和尺寸

CF法蘭的直徑尺寸包括:16、40、63、100、160、200、250等,具體詳見下表。適用的真空度高達10-12mbar。CF法蘭型號和尺寸常用選型表

CF法蘭分為固定型和松套型兩種。固定型法蘭為一體化結(jié)構(gòu)。松套型法蘭由擠壓銅墊圈的刀口部分和通過螺栓的固定部分構(gòu)成。法蘭上可開通孔或螺紋孔。開有通孔的法蘭要通過螺栓和螺母固定;開有螺紋孔的法蘭可直接使用螺栓固定。

法蘭的內(nèi)側(cè)有凸起的鋒利刀口,通過擠壓無氧銅墊圈(或其他軟金屬)使其變形而達到密封真空的目的,是全金屬材料的密封方式,被廣泛應(yīng)用于超高真空系統(tǒng)中。

CF法蘭的特點是不分雌雄,包括無氧銅墊圈在內(nèi)全部由金屬構(gòu)成,因此可以承受高溫(250℃以上)烘烤。其缺點是價格高,無氧銅墊圈不能多次重復(fù)使用。

CF法蘭安裝

CF法蘭的安裝要求較高。因為無氧銅墊圈被擠壓后會變形,所以用均等力量扭緊螺栓非常重要。如果螺栓用力不均勻,會使對角位置的法蘭翹起,以至于漏氣。扭緊螺栓的力矩大約如下:M4螺栓20 kgf·cm,M6螺栓70 kgf·cm,M8螺栓100 kgf·cm。

ConFlat 法蘭和墊片的材料

典型的ConFlat 法蘭材料有奧氏體不銹鋼 304L、316L、316LN 和表面硬化鋁合金等;密封墊片可以采用多種材料,墊片的材料決定了接頭的耐溫,并在一定程度上決定了所能達到的極限壓力。

無氧銅墊片:可以用于1E-13mbar以下的超高真空,耐受 -196° C 到 450°C 之間的溫度循環(huán)。然而,在高溫烘烤時,墊片暴露在空氣中的部分會氧化形成一層氧化膜,在法蘭拆卸過程中,氧化膜可能會剝落到腔室中。對于需要頻繁長期高溫烘烤的系統(tǒng),建議使用鍍銀合金墊片。

鍍銀墊片:可以達到和無氧銅墊片相同的真空度,耐受同樣的溫度,但是烘烤時不容易被氧化或者與法蘭粘連,在真空下的放氣率也更低。

鋁制墊片:鋁制的CF法蘭需使用鋁制墊片——而不是銅制的。但是,如果烘烤溫度限制在 200°C 以下,鋁墊片可用于不銹鋼CF法蘭。

氟橡膠(FKM/Viton)、聚四氟乙烯(PTFE/Teflon)等非金屬材質(zhì)的墊片:由于墊片材料本身的物理性質(zhì)限制,非金屬墊片的無法耐受特別高溫度的烘烤,而且由于非金屬材料具有更高的放氣率和滲透率,所以使用非金屬墊片時很難獲得非常高的真空度。

參考:

[1] 安捷倫真空:ConFlat 法蘭發(fā)明 60 周年了 帶你了解它

[2] 《實用真空技術(shù)》

[3] 部分來自網(wǎng)絡(luò)

使用注意事項

CF法蘭使用時有幾個注意點:螺栓一定要涂抹MoS2,以免螺栓和螺母咬合卡死;法蘭外周要對齊;法蘭面要保持一點距離,為烘烤后繼續(xù)上緊螺栓留出余地。

CF法蘭中,刀口要切入金屬密封圈來實現(xiàn)真空密封。長期使用,刀口會逐漸變鈍。另外,受硬器碰撞后刀口容易受傷。這時的補救措施之一,是使用IPD金屬密封圈。IPD金屬密封圈不依靠法蘭的刀口,而依靠刀口外周的斜面來密封。

以上就是北京麥迪森科技有限公司分享的CF法蘭型號和尺寸常用選型表的介紹。

CF法蘭型號和尺寸常用選型


CF法蘭型號和尺寸常用選型表
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